アドテックプラズマテクノロジー
社長 森下秀法さん
開発力上げ半導体需要に対応
2024年05月01日号
電力制御を高速化する技術
もりしたひでのり(52)
プラズマ発生用高周波電源大手の㈱アドテックプラズマテクノロジー（森下秀法社長）は、半導体製造装置の真空化でプラズマを発生させる高周波電源に電力制御を従来機に比べ、１千倍以上高速化できる制御技術を開発した。新技術「高速ＲＦ制御システム（マークファイブ）」で半導体製造装置のチャンバー（反応機器）内でシリコンなどの基板材料に回路を形成するために必要なプラズマが微細化され、より繊細な生産ができる。同社では、２年後に主力のベトナム工場に導入する計画だ。プラズマ発生用高周波電源は、チャンバーごとに要り、生産効率を上げるため、多数のチャンバーを備える装置が増えていることもあって、同社はこの５年で売上高60億円から23年は１２４億円と倍増した。会社の展開を森下社長に聞いた。
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